Pommitamissihtmärk viitab pommitamisallikale, mis pihustatakse ja sadestatakse substraadile sobivates protsessitingimustes magnetroni pihustamise, mitmekaarelise ioonkatte või muud tüüpi katmisseadmete abil, et moodustada erinevaid funktsionaalseid kilesid. Vastavalt koostisele saab sihtmärke jagada puhta metalli sihtmärkideks, sulamist märkmärkideks, oksiidsihtmärkideks, silitsiidsihtmärkideks jne; kuju järgi saab neid jagada tasapinnalisteks (ristkülikukujulisteks ja kaarekujulisteks sihtmärkideks) ja torukujulisteks sihtmärkideks. . Pihustavaid sihtmärke kasutatakse laialdaselt paljudes valdkondades, nagu dekoratsioon, tööriistad ja valuvormid, klaas, elektroonikaseadmed, pooljuhid, magnetsalvestus, lamedad kuvarid, päikesepatareid jne. Erinevad väljad nõuavad erinevaid sihtmaterjale.
1. Dekoratiivne kate
Dekoratiivkatte all mõeldakse peamiselt mobiiltelefonide, kellade, prillide, sanitaartehnikatoodete, riistvaraosade ja muude toodete pinnakatet. See ei mängi mitte ainult värvi kaunistamise rolli, vaid omab ka kulumiskindlust, korrosioonikindlust ja muid funktsioone. Peamised dekoratiivkatte sihtmärgid on järgmised: kroomi sihtmärk, titaansihtmärk, tsirkooniumi sihtmärk, nikli sihtmärk, volframsihtmärk, titaan-alumiinium sihtmärk, roostevabast terasest sihtmärk jne.
2. Töötlemisvormide või tööriistade katmine
Seda kasutatakse peamiselt tööriistade ja vormide pinna tugevdamiseks, mis võib oluliselt parandada tööriistade ja vormide kasutusiga ning töödeldud osade kvaliteeti. Viimastel aastatel on lennundus- ja autotööstuse arengust tingitud ülemaailmse töötleva tööstuse tehniline tase ja tootmise efektiivsus teinud suuri edusamme ning nõudlus suure jõudlusega lõikeriistade ja vormide järele kasvab iga päevaga. Vormi katmiseks kasutatavad peamised sihtmärkide tüübid on järgmised: titaan-alumiinium sihtmärgid, kroomi sihtmärgid, titaansihtmärgid jne.
3. Klaasi kate
Sihtmaterjalide kasutamine klaasil on peamiselt madala kiirgusega kaetud klaasi tootmiseks, mis kasutab magnetroni pihustamise põhimõtet, et pihustada klaasile mitu kihti õhukesi kile, et saavutada energiasäästu, valguse juhtimise ja kaunistamise funktsioonid. Peamised sihtmärkide tüübid on järgmised: hõbedane sihtmärk, kroomsihtmärk, titaansihtmärk, nikkel-kroom sihtmärk, räni-alumiinium sihtmärk, titaanoksiidi sihtmärk jne. Teine oluline sihtmaterjalide kasutusala klaasil on autode tahavaatepeeglite, peamiselt kroomi, valmistamine. sihtmärgid, alumiiniumsihtmärgid, titaanoksiidi sihtmärgid jne. Kuna autode tahavaatepeeglitele esitatavad kvaliteedinõuded kasvavad jätkuvalt, on paljud ettevõtted läinud üle algsest alumiiniumist katmise protsessist vaakumpihustamise kroomimise protsessile.
4. Elektroonilise seadme kate
Elektrooniliste seadmete katteid kasutatakse peamiselt õhukese kile takistite ja õhukese kile kondensaatorite jaoks. Õhukeste takistite sihtmaterjalide hulka kuuluvad NiCr sihtmärk, nikkel-kroomiräni (NiCrSi) sihtmärk, kroomräni (CrSi) sihtmärk, tantaal (Ta) sihtmärk, nikkel-kroom-alumiinium (NiCrA1) jne.
5. Lameekraankate
Kiire nõudluse kasv kaasaskantavate personaalarvutite, telerite, mobiiltelefonide jne lameekraaniseadmete järele on oluliselt soodustanud erinevat tüüpi lameekraaniseadmete väljatöötamist. Selle tüübid on järgmised: vedelkristallkuvaseade (LCD), plasmakuvari seade (PDP) jne. Kõik need lameekraaniseadmed kasutavad erinevat tüüpi filme. Ilma õhukese kiletehnoloogiata poleks lameekraaniseadmeid. Suurepinnaliste katete ühtluse tagamiseks, tootlikkuse parandamiseks ja kulude vähendamiseks kasutatakse nende katete valmistamisel üha enam pihustustehnoloogiat. Lameekraani katmiseks kasutatavate sihtmärkide peamised tüübid on järgmised: kroomi sihtmärgid, molübdeensihtmärgid, alumiiniumisulamist sihtmärgid, vasest sihtmärgid jne.
6. Pooljuhtkate
Infotehnoloogia kiire areng nõuab integraallülituste järjest enam integreerimist. Iga seade koosneb aluspinnast, isolatsioonikihist, dielektrikihist, juhikihist ja kaitsekihist. Nende hulgas on dielektriline kiht, juhi kiht ja isegi kaitsekiht Kasutatakse pihustuskatmise protsessi, seega on pihustamise sihtmärk integraallülituste ettevalmistamise üks põhimaterjale. Pooljuhtide katmiseks mõeldud sihtmaterjalid nõuavad kõrget sihtpuhtust, tavaliselt üle 4N või 5N. Peamised sordid hõlmavad volfram-titaan-, titaan-, alumiinium- ja vasest sihtmärke.
