Metallist sihtmärgid koosnevad ühest metallist või metallisulamist, mis on spetsiaalselt töödeldud ja rafineeritud, et vastata kõrge puhtuse ja spetsiifilise mikrostruktuuri nõuetele. Tavaliste metallide sihtmärkide hulka kuuluvad vask, alumiinium, hõbe, titaan ja nende sulamid. Metallist sihtmärgid valitakse nende ainulaadsete füüsikaliste ja keemiliste omaduste põhjal, et optimeerida selliste protsesside toimivust ja tõhusust nagu ioonide implanteerimine ja õhukese kile sadestamine. Meie ettevõte saab pakkudaTitanium Ti pihustussihtmärk, 99,95% tsirkooniumi pihustussihtmärgidja kroomi sihtmärke ja muid metallist sihtmärke, kui vajate, saatke meile e-kiri.
Keraamilised sihtmärgid koosnevad kõrge puhtusastmega mittemetallilistest ühenditest, sealhulgas oksiididest, silikaatidest, nitriididest ja nii edasi. Need sihtmärgid valmistatakse kõrgtemperatuurse paagutamise meetoditega, et moodustada keeruliste keemiliste ja füüsikaliste omadustega tahkeid materjale. Nende ainulaadne koostis annab neile asendamatu koha kõrgtehnoloogilistes rakendustes, eriti pooljuhtide tootmises, optoelektroonilistes materjalides ja õhukese kile tehnoloogias.
1. Maksumus ja ettevalmistamise raskus
Keraamiliste sihtmärkide valmistamine on keeruline mitte ainult nõutava kõrge temperatuuriga paagutamisprotsessi tõttu, vaid ka vajaduse tõttu kontrollida selle puhtust ja mikrostruktuuri, et tagada lõpptoote toimivus. Seevastu metallisihtide sulatus- ja töötlemisprotsess on suhteliselt lihtne, suure plastilisusega ning hõlpsasti vormitav ja töödeldav.
Kulude seisukohast on metallist sihtmärgid tavaliselt odavamad kui keraamilised sihtmärgid, kuna metalli ekstraheerimine, töötlemine ja ettevalmistamine on suhteliselt lihtne. Keraamiliste sihtmärkide valmistamine nõuab aga keerukamat protsessi
2. Füüsikalised ja keemilised omadused
Tänu oma ainulaadsele keemilisele struktuurile on keraamilistel objektidel tavaliselt kõrgem kõvadus ja sulamistemperatuur, mis muudab need kõrgetel temperatuuridel stabiilsemaks ja sobib kõrgel temperatuuril kile sadestamise protsessideks. Eriti kõrge temperatuuriga või söövitava keskkonna rakendustes. Need ei reageeri kergesti teiste elementidega, säilitades materjali puhtuse ja stabiilsuse.
Metallist sihtmärgid sobivad mitmesuguste keerukate kuju ettevalmistamise nõuete täitmiseks, eriti soojus- ja elektrijuhtivuse poolest, mis on palju paremad kui keraamilised sihtmärgid, mistõttu on need eelistatavad rakendustes, mis nõuavad head soojusjuhtimist ja elektrilisi omadusi. Siiski võib see teatud tingimustel oksüdeeruda või korrodeeruda.
3. Rakendusväli
Metallist sihtmärke kasutatakse laialdaselt olukordades, kus on vaja head juhtivust ja soojusjuhtivust, näiteks juhtivate kilede, peegelduskilede ja magnetmaterjalide valmistamisel. Nende suurepärane plastilisus annab neile eelise ka keeruka kujuga sihtmärkide valmistamisel.
Tänu oma kõrgele puhtusastmele, keemilisele stabiilsusele ja kõrgele sulamistemperatuurile on keraamilistel sihtmärkidel ainulaadne kasutusala pooljuhtide tootmisel, kõrgel temperatuuril õhukese kile sadestamisel ja fotoelektriliste materjalide valmistamisel. Need rakendused nõuavad sageli väga kõrgete jõudlusstandarditega materjale.
