1. Puhtus
Titaani sihtmärgi puhtus mõjutab pihustatud kilede omadusi suuresti. Mida kõrgem on sihtmärgi puhtus, seda vähem on pihustatud kiles lisandiosakesi ja seda parem on kile jõudlus (nt korrosioonikindlus, optilised ja elektrilised omadused). Praktilistes rakendustes on erinevatel eesmärkidel kasutatavate titaansihtide puhtusnõuded erinevad. . Näiteks üldiste dekoratiivkatete sihtmärkide puhtusnõuded ei ole nõudlikud, samas kui integraallülituste, kuvari korpuste ja muude väljade sihtmärkide puhtusnõuded on palju kõrgemad, üldiselt umbes 99,999 protsenti või rohkem.
2. Keskmine tera suurus
Tavaliselt on titaani sihtmärgil polükristalliline struktuur ja tera suurus võib ulatuda mikronitest millimeetriteni. Peeneteralise sihtmärgi pihustuskiirus on kiirem kui jämedateralise sihtmärgi oma. Pihustussadestatud kile paksuse jaotus on samuti suhteliselt ühtlane. Integraallülituste titaansihikute keskmine tera suurus peab üldjuhul jääma 30 μm piiresse ja ülipeeneteraliste titaansihikute keskmine tera suurus on alla 10 μm.
3. Kristallide orientatsioon
Titaanil on tihedalt pakitud kuusnurkne struktuur. Pihustamise ajal pihustatakse titaani sihtaatomeid kergesti aatomite kuusnurkse paigutuse suunas. Seetõttu on suurima pommitamiskiiruse saavutamiseks võimalik pommitamiskiirust suurendada, muutes sihtmärgi kristallstruktuuri. pritsimise kiirus. Titaani sihtmärgi kristalliseerumissuunal on suur mõju ka pihustatud kilekihi paksuse ühtlusele ning lameekraani ja dekoratiivkatte kile suurus on suhteliselt paks, seega on vastava titaani sihtmärgi tera orientatsiooni nõuded. suhteliselt madal.
4. Geomeetria ja suurus
See kajastub peamiselt töötlemise täpsuses ja töötlemise kvaliteedis, nagu töötlemise suurus, pinna tasasus, karedus jne. Väike paksus mõjutab sihtmärgi kasutusiga; liiga kare tihenduspind ja tihendussoon põhjustavad pärast sihtmärgi paigaldamist vaakumiprobleeme; sihtmärgi pihustuspinna karestamine võib muuta sihtmärgi pinna täis väljaulatuvaid otsikuid, otsaefekti mõjul suureneb nende ülestõstetud otste potentsiaal oluliselt, purustades seeläbi dielektrilise tühjenemise. Liiga suur eend kahjustab aga pihustamise kvaliteeti ja stabiilsust.
Meie ettevõte võib pakkuda selliseid titaanisulameid naguTitaanalumiiniumist pihustussihtmärgidjaTitanium Ti pihustussihtmärk, samuti erineva puhtuse ja kujuga titaansihtmärke ning aktsepteerida ka kohandatud teenuseid. Vajadusel võtke meiega ühendust meili teel.
