Sihtmärgi pihustamine kui pinnatöötluse ja õhukese kiletehnoloogia põhitehnoloogia, viitab ioonide või muude laetud osakeste kasutamisele sihtmärgi tabamiseks suure energiaga olekus, käivitades seeläbi sihtmärgi aatomite või molekulide kineetilise energiaülekande ja materjali transpordi. . Ergastatud aatomid või molekulid eralduvad sihtpinnalt ja ladestuvad suurel kiirusel substraadile, moodustades ühtlase või spetsiifilise struktuuriga õhukese kile.
1. Klassifikatsioon
(1) DC pihustamine
Põhimõte: alalisvoolu pihustamine kasutab energiaallikana pidevat alalisvooluallikat ja sobib peamiselt hea juhtivusega sihtmärkide jaoks, nagu metallid.
Omadused: Selle eelised on lihtsad seadmed, lihtne töö ja kõrge sadestuskiirus. See ei kehti isoleermaterjalide kohta, kuna need ei suuda tagada tõhusat laengu transporti.
(2) Raadiosageduslik pihustus
Põhimõte: Raadiosageduslik pommitamine kasutab raadiosageduslikku võimsust (tavaliselt MHz vahemikus), nii et mittejuhtivaid materjale (nagu keraamika, oksiidid) saab ka pihustada.
Omadused: võimeline pihustama isoleermaterjale, millel on suurem sadestumise ühtlus. Keerulise toite- ja juhtimissüsteemi tõttu on kulud ja hooldusraskused aga suhteliselt suured.
(3) Magnetroni pihustamine
Põhimõte: Traditsioonilise pihustamise alusel tekitatakse magnetväli, asetades magnetid sihtmärgi lähedusse, suurendades seeläbi plasma tihedust ja stabiilsust.
Omadused: Parem pihustustõhusus ja kile kvaliteet, väiksem sihttarbimine. Võib töötada madalama õhurõhuga, vähendades seeläbi gaasiosakeste mõju kilele.
(4) Reaktiivne pihustamine
Põhimõte: pihustusprotsessi käigus juhitakse töökeskkonda reaktiivseid gaase (nagu hapnik, lämmastik), mis reageerivad keemiliselt sihtaatomitega, moodustades liitkile.
Omadused: Valmistada saab mitmesuguseid liitkilesid, nagu oksiidid, nitriidid, karbiidid jne. Kuid juhtimine on keeruline ja nõuab reaktiivgaasi voolukiiruse ja rõhu täpset reguleerimist.
(5) Suure võimsusega impulssmagnetroni pihustus
Põhimõte: kasutage suure võimsusega impulss-toiteallikat suure tihedusega plasma genereerimiseks lühikese aja jooksul, et suurendada pihustuskiirust.
Omadused: Saab siledamad ja tihedamad kiled. Kuid tänu suurele energiatarbimisele on soojusjuhtimine ja seadme vastupidavus väljakutseteks.
2. Rakendus
(1) Pooljuhtide tööstus
Pihustamistehnoloogiat kasutatakse juhtivate, isoleerivate ja varjestavate kihtide ladestamiseks, mis on kriitilise tähtsusega suure jõudlusega integraallülituste ja mikroelektroonikaseadmete valmistamisel.
(2) Optilised rakendused
Peeglid ja peegeldusvastased katted: pihustustehnikaga valmistatud õhukesi kilesid saab kasutada mitmesuguste optiliste komponentide, näiteks läätsede, läätsede ja peeglite valmistamiseks lasersüsteemides. Ka päikesepatareide valgust neelav kiht ja juhtiv kiht valmistatakse sageli pihustamise teel.
(3) Dekoratiivne kate
Auto- ja ehitustööstus: pihustatud kilesid kasutatakse autoosade ja ehitusmaterjalide dekoratiivseks katmiseks, mis mitte ainult ei anna esteetilist välimust, vaid suurendab ka materjali kulumis- ja korrosioonikindlust. Tarbeelektroonika, nagu mobiiltelefonid ja arvutid, korpused ja dekoratiivosad kasutavad sageli kulumiskindlate ja ilusate kilede katmiseks pritsimistehnoloogiat.
(4) Spetsiaalsed funktsionaalsed kiled
See võib tööriistade ja vormide pindadele sadestada suure kõvadusega ja kulumiskindlaid kilesid, et pikendada tööriista kasutusiga. Lisaks saab pritsitud kilesid kasutada valguse läbilaskvuse reguleerimiseks hoonete ja autode nutika aknatehnoloogias.
(5) Biomeditsiini valdkond
Bioühilduvad kiled sadestatakse tavaliselt pihustustehnikaga, et parandada tehisliigeste või hambaimplantaatide ühilduvust inimkehaga.
FANMETAL võib pakkuda klientidele mitmesuguseid metallist pihustussihtmärke, nagu titaanalumiiniumi pihustussihtmärgid, volframsihtmärgid ja kroommetalli pihustussihtmärgid jne.
